◆松山湖材料实验室研究员，精密仪器工程中心负责人
◆松山湖材料实验室产业委员会委员
◆材料微观结构和物性的原位透射电镜表征；
◆电子显微镜和扫描探针显微镜；
◆材料物性测量仪器的研发和产业转化。
◆ 2008年，中国科学院物理研究所获得博士学位，并留所工作。同年，前往日本物质材料研究机构（NIMS）进行博士后研究。
◆ 2010年，担任中科院物理所表面物理国家重点实验室副主任工程师。
◆ 2023年，担任松山湖材料实验室研究员和精密仪器工程中心负责人。
◆北京市科学技术一等奖，澳大利亚 ARC Discovery Early Career Researcher Award，安徽省“特支计划”创业领军人才等奖项。
◆国家重点研发计划“重大科学仪器设备开发”重点专项项目负责人，国家重大科研装备研制项目共同项目负责人。
◆Nature正刊等期刊发表论文150余篇。
◆创办材料物性测量仪器企业，实现精密仪器成果成功转化并填补多项国产空白，产值超亿元。
研发团队在实验室
团队致力于开发材料和半导体领域的精密加工、表征和量测设备。在国内率先实现了桌面式扫描电子显微镜、电镜原位物性测试系统、台阶仪等精密仪器设备的国产化，同时完成了扫描探针显微镜、压电驱动纳米位移平台、超低温探针台等产品的产业化。产品进入全国各大研究院所和相关企业，并出口欧美日澳。
产品介绍
（一）扫描隧道显微镜
STM是进行新材料和凝聚态物理研究的重要设备，它作为一种扫描探针显微术工具，可以对材料进行原子级别的分辨成像，其不仅可以对材料表面进行原子量级的观察，也可以同时进行对材料原子结构和电学特性的研究。
超高真空低温（4K）STM系统包含关键技术如压电陶瓷步进马达、低温STM探头、超真空液氦双层杜瓦等。超高真空低温扫描隧道显微镜系列产品，除了高性能STM、调频AFM、TERS等设备外，还可将核心部件模块化，集成化，针对科研用户，定制开发所需功能和设备。
（二）压电驱动纳米位移台
精密仪器团队研发的纳米压电驱动马达，使用压电陶瓷作为运动促动原件，利用粘滑运动原理，可以在数十毫米范围内实现纳米级别的最小步长，解决了传统纳米台行程不足，而微米电动台分辨精度不高的问题。此外，相比电机类运动控制产品，团队研发的产品具有运动无需润滑，百分百真空兼容，可在从液氦温区（-269℃）至室温的宽温区内工作等优点。在功能及操作模式上，团队研发的产品具有步进和扫描双工作模式，在宏观行程范围内能达到亚纳米分辨率的定位。
（三）台阶仪
公司自主研发的台阶仪，用于样品表面从微米到纳米尺度的轮廓测量，核心部件自研，样品最大支持12英寸，结构紧凑，实现了国产化台阶仪零的突破。研发团队经过长期技术积累，利用压电微动台、力传感器模组、粗调电动位移台和扫描轴配合，控制探针于恒定压力下在样品表面移动，通过压电微动台的位移量确定样品表面的台阶高度。目前已经成功开发出手动版、半自动版以及全自动版等三种型号，客户涵盖高校、科研院所及工业企业。
产业化公司
东莞泽攸精密仪器有限公司（以下简称“泽攸科技”）于2022年11月在东莞注册成立，是由安徽泽攸科技有限公司（以下简称“安徽泽攸”）和东莞市卓聚科技有限公司（以下简称“东莞卓聚”）两家高端精密仪器公司经同一控制下的合并、重组而成。泽攸科技致力于打造世界一流、国内顶尖的精密仪器公司，为客户提供微观形貌表征、量测及加工等全产业链产品解决方案。
